展暘具備高精度 CNC 加工、精密槽位控制與客製化設計能力，可依照客戶晶圓尺寸、Slot 數量、設備接口、表面處理與製程環境需求進行專案開發。針對不同產線環境與設備條件，我們可調整載具結構強度、定位方式、重量配置與防呆設計，提升自動化搬運穩定性與設備相容性。

在表面處理方面，亦可依客戶需求提供多種陽極與特殊塗層選擇，包括硬陽極（Hard Anodized）、抗靜電處理、鐵氟龍／PFA 塗層與無電解鎳鍍層等，以提升耐磨耗、耐腐蝕與高潔淨特性。同時也可配合客戶進行不同陽極顏色客製化，例如黑色、藍色、灰色等，方便產線管理、產品識別與品牌化需求，協助客戶建立更完整、更高效率的半導體載具管理系統。

鋁合金晶圓 Cassette 主要應用於半導體晶圓與光電製程中的晶圓承載與轉運，其核心功能包含：
●　晶圓安全承載與定位
●　製程間搬運與暫存
●　高溫製程支撐
●　抗靜電保護
●　自動化設備上下料整合
●　高精度 Slot 間距管理

常見晶圓尺寸可支援 3 吋、4 吋、6 吋、8 吋及 12 吋規格，標準設計多為 25 Slot，也可依薄化晶圓或特殊製程需求設計為 13 Slot 或客製化槽位結構。

產品關鍵挑戰與客戶痛點

在半導體與光電製程中，晶圓 Cassette 的尺寸精度、耐溫性與潔淨度會直接影響製程穩定性。若 Cassette 剛性不足或 Slot 精度不佳，容易造成晶圓放置不穩、機械手臂抓取偏差或自動化搬運異常。若材料耐溫性不足，也可能在高溫環境下產生變形，影響晶圓定位精度與設備運作穩定性。

此外，晶圓對靜電與污染非常敏感，若載具表面處理不良，可能造成微粒殘留、刮傷、腐蝕或靜電累積，進一步影響產品良率。因此，客戶最重視的是 Cassette 是否能同時具備高剛性、耐高溫、抗靜電、高潔淨與長時間穩定使用能力。

鋁合金晶圓 Cassette 通常採用高剛性且輕量化的 6061 鋁合金，並透過 CNC 精密加工確保槽位尺寸、間距與整體結構穩定性。為提升耐磨耗、抗腐蝕與潔淨度，表面可依客戶需求進行多種處理方式，例如：
●　硬陽極處理（Hard Anodized）
●　鐵氟龍／PFA 塗層
●　無電解鎳鍍層（Kanigen / Ni）
●　抗污染與耐磨表面處理

此外，展暘可依客戶圖紙、尺寸細節與設備需求進行完全客製化製作，包括 Slot 數量、Cassette 結構、尺寸公差、定位方式與特殊機構設計等。同時也可依客戶需求提供不同陽極處理規格與外觀顏色客製化，例如黑色、藍色、灰色等特殊陽極色彩需求，滿足不同設備識別、自動化管理與品牌化需求。

產品品質對製程的影響

若鋁合金晶圓 Cassette 品質不佳，可能造成晶圓定位偏移、Slot 變形、機械手臂抓取失敗、晶圓刮傷或高溫後尺寸變化等問題，進而影響製程良率與設備稼動率。高品質 Cassette 則可確保晶圓在搬運、暫存與熱製程中維持穩定支撐，降低晶圓破損與污染風險，並提升自動化設備取放精準度與長時間量產穩定性。

客戶可獲得的效益

導入高品質鋁合金晶圓 Cassette 後，可協助客戶提升晶圓搬運穩定性、降低破片與刮傷風險，並提升高溫製程與自動化傳輸的可靠度。其高剛性與抗靜電特性，有助於保護晶圓於製程流轉中的安全性；而精密 Slot 設計與耐用表面處理，則能降低設備停機、維護與更換成本，進一步提升整體製程效率與量產良率。

應用產業

鋁合金晶圓 Cassette 廣泛應用於：
●　半導體晶圓製造
●　高溫擴散爐與熱製程
●　封裝與測試製程
●　太陽能晶片生產
●　光電與精密電子製程
●　OHT／自動化傳輸系統

特別適合需要高耐溫、高剛性、抗靜電與高精度定位的製程環境。

為什麼選擇展暘

鋁合金晶圓 Cassette 不只是晶圓載具，更是影響晶圓搬運安全、製程穩定性與自動化效率的重要基礎元件。展暘具備高精度 CNC 加工、精密槽位控制與客製化設計能力，可依照客戶晶圓尺寸、Slot 數量、設備接口、表面處理與製程環境需求進行專案開發。

我們不只是依照標準規格生產，更能根據客戶圖紙、尺寸細節、特殊陽極需求與顏色識別要求，提供高度客製化的 Cassette 解決方案，協助客戶提升設備整合性、自動化管理效率與品牌識別性。

從材料選型、結構設計、表面處理到量產製造，皆以高剛性、高潔淨、高耐溫與高穩定性為核心，協助客戶降低晶圓損傷風險，提升設備運作效率，並建立更可靠的半導體與光電製程載具解決方案。