Để cải thiện sự ổn định của quy trình và hiệu suất hoạt động, Zhanyang đã phát triển một thiết bị chuyển đổi khay tùy chỉnh với các tính năng poka-yoke (chống lỗi), thành công nâng cao chất lượng quy trình làm sạch trước plasma và tính nhất quán trong hoạt động.

Xử lý các điểm đau trong quy trình và thách thức kỹ thuật.

Trong các dây chuyền đóng gói bán dẫn có độ chính xác cao, sản phẩm phải trải qua quá trình chuyển đổi khay trước khi làm sạch bằng plasma. Tuy nhiên, các phương pháp xử lý thủ công truyền thống thường dẫn đến hư hỏng vật liệu như va chạm, trầy xước và rơi đơn vị do sự biến đổi của người vận hành. Ngoài ra, vì Khay A và Khay B có các thông số khác nhau, bất kỳ việc sử dụng sai hoặc đặt không đúng vị trí nào cũng có thể ảnh hưởng trực tiếp đến sự ổn định của quy trình phía hạ nguồn và năng suất sản phẩm.
 
Cùng lúc đó, các thiết bị bán dẫn rất nhạy cảm với sự phóng tĩnh điện (ESD), và quá trình chuyển đổi khay và làm sạch plasma phải được hoàn thành trong khoảng thời gian 8 giờ. Điều này đặt ra yêu cầu nghiêm ngặt về thời gian quy trình và tính nhất quán trong hoạt động. Nếu không có hỗ trợ từ các thiết bị chuyên dụng, các hoạt động có thể trở nên không nhất quán, quy trình làm việc có thể bị gián đoạn, và sự biến đổi quy trình có thể tăng lên, khiến cho việc đạt được năng suất cao, hiệu quả và sự ổn định cần thiết cho sản xuất hàng loạt trở nên khó khăn.

Giải pháp

Để loại bỏ rủi ro quy trình do việc chuyển đổi khay thủ công gây ra, Zhanyang đã giới thiệu một thiết bị chuyển đổi hộp vật liệu chuyên dụng. Thông qua thiết kế thiết bị tùy chỉnh, một quy trình chuyển giao vật liệu ổn định và tiêu chuẩn hóa đã được thiết lập, giảm thiểu hiệu quả sự biến đổi do người vận hành gây ra và cải thiện tính nhất quán tổng thể của quy trình.
 
Để giải quyết các mối quan tâm về tĩnh điện, thiết bị được thiết kế hoàn toàn với các tính năng bảo vệ ESD, giảm thiểu rủi ro hư hại do tĩnh điện đối với các linh kiện nhạy cảm và đảm bảo chất lượng vật liệu vẫn ổn định trước khi tiến hành quy trình làm sạch Plasma.
 
Ngoài ra, Zhanyang đã triển khai một cấu trúc định vị chính xác với cơ chế căn chỉnh khe và khay A/B chuyên dụng, đảm bảo vị trí khay chính xác và định vị vật liệu chính xác trong suốt quá trình chuyển giao.
 
Để ngăn chặn thêm các lỗi do con người, một thiết kế Poka-Yoke đã được áp dụng. Thiết bị này ngăn chặn hoạt động trừ khi vị trí đúng được xác nhận, hiệu quả loại bỏ việc nạp khay sai và các bất thường trong quy trình, đồng thời giảm thiểu đáng kể rủi ro sai sót của người vận hành.

Xác thực Quy trình

Sau khi hoàn thành dự án, Zhanyang đã tiến hành xác nhận quy trình toàn diện và kiểm tra dây chuyền sản xuất, bao gồm:
● Kiểm tra vận hành liên tục nhiều lô
● Xác minh tích hợp quy trình làm sạch trước plasma
● Kiểm tra độ ổn định định vị và chuyển giao vật liệu
● Xác thực bảo vệ ESD và tính nhất quán trong hoạt động
 
Các đánh giá này đã xác nhận khả năng của thiết bị để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong khi đáp ứng các yêu cầu sản xuất hàng loạt của ngành công nghiệp bán dẫn.

Kết quả Kiểm tra

Sau khi triển khai Thiết bị Chuyển đổi Hộp Vật liệu và cơ chế Poka-Yoke, khách hàng đã đạt được những cải tiến đáng kể trong quy trình làm sạch trước plasma:
● Hoàn toàn loại bỏ các sự cố hư hỏng vật liệu
● Không có sự cố tải khay sai
● Cải thiện đáng kể độ ổn định của quy trình
● Quy trình vận hành tiêu chuẩn hóa
● Giảm thiểu đáng kể sự biến đổi do người vận hành gây ra
 
Giải pháp đã thành công trong việc nâng cao cả năng suất quy trình đầu vào và hiệu quả dây chuyền sản xuất.

Tóm tắt Nghiên cứu Tình huống

Dự án này đã thành công trong việc sử dụng một Thiết bị Chuyển đổi Hộp Vật liệu và Cơ chế Poka-Yoke để loại bỏ thiệt hại vật liệu và vấn đề nạp khay sai do xử lý thủ công trong quy trình sản xuất bán dẫn. Giải pháp này đã cải thiện đáng kể sự ổn định của quy trình và hiệu quả hoạt động trước khi làm sạch Plasma.
 
Tận dụng chuyên môn của mình trong thiết kế giá đỡ tùy chỉnh, công nghệ bảo vệ ESD và tối ưu hóa quy trình, Zhanyang tiếp tục giúp khách hàng nâng cao năng suất đóng gói bán dẫn và khả năng quản lý tự động hóa, phục vụ như một đối tác kỹ thuật đáng tin cậy cho các dây chuyền sản xuất đóng gói bán dẫn chính xác cao.